Descripción:
"El siguiente trabajo presenta los resultados y conclusiones del proceso de
investigación en el desarrollo de un óxido conductor transparente en película
delgada. Los materiales trabajados fueron el óxido de estaño dopado con bismuto,
fósforo o antimonio, siendo este último el que presentó las propiedades de mayor
interés. Se llevaron a cabo distintos tratamientos para la optimización de las
películas, trabajando con las técnicas de rocío pirolítico, sol gel, inmersión remoción,
spin coating y depósito físico de vapor. Dentro de los parámetros utilizados para
mejorar las propiedades tanto ópticas como eléctricas se utilizaron el tipo de
depósito, la temperatura de tratamiento térmico, la duración de tratamiento térmico
y la atmósfera en la que se realizaba el postratamiento. Las muestras fueron
analizadas por las técnicas de espectroscopia Uv-Vis, espectroscopia Raman,
método de 4 puntas, efecto Hall, difracción de rayos X y espectroscopia de rayos x
fotoemitidos. El parámetro principal para definir las características de una película
con potencial aplicación para cuestiones optoelectrónicas fue la figura de mérito,
siendo esta la que relaciona las propiedades eléctricas, con la resistencia de cuadro,
junto a las ópticas con la transmitancia. Acorde a lo obtenido, la película de óxido
de estaño dopado con antimonio con un tratamiento en atmósfera de nitrógeno
mediante rocío pirolítico presentó una figura de mérito con el valor de 9.83x10-2Ω-1
, para el depósito película delgada el mejor desempeño fue a 425°C en sistema con
arrastre de nitrógeno y una distancia de 30 cm. La incorporación de antimonio al
óxido de estaño provoca una disminución de la resistividad de 2x10-1Ω-cm a
1.23x10-2 Ω-cm manteniendo una transmitancia del 73%."